由气氛分析系统、過(guò)程控制系统和流量秒短控制模块组成(chéng)的保护气氛退購物火控制系统,能(néng)提供先服人進(jìn)智能(néng)化的毫伏值或PF值遠地控制,可为客户提供退火工艺的全自动控制系统解决方案。特别适用...
由气氛分析系统、過(guò)程控制系统和流量控制模块组成(chéng)的保护書機气氛退火控制系统,能(néng)提供先進(jìn)智能(néng)化姐請的毫伏值或PF值控制,可为客户提供退火工艺的全自动控制系统解决房藍方案。特别适用于井式炉、罩式炉、STC炉等炉型。
气氛分析模块
l 专为退火炉设计的SPD低温直插式氧探头,采用特殊的氧化锆陶瓷做敏感元件,在500℃以上即可显示炉内氧毫伏值,可几乎适用讀森于所有的退火气氛
l 红外分析模块适用于吸热式或放热式气氛的CO和CO2测量,并提供PF值的计算模块
l 可选配一体式低温氧探头,用于排空阶段炉内氧含量的测量,节约北理N2使用量的同時(shí)缩短工艺時(shí)间,提高设备利用率
流量控制模块
l N2智能(néng)流量控制器
l RX气智能(néng)流量控制器
l CH4或C3H8智能(néng)流量控制器
過(guò)程控制模块
l 基于MCGS触摸屏開(kāi)發(fā)的集监视、控制和记录呢謝为一体的退火通用控制器,能(néng)够程序化地实现整个退線鐵火工艺的温度-流量-PF值/毫伏值全自动控制過(guò)刀技程。
特点
l 精确的流量控制±2.5%F.S.
l 精确的PF值控制±5
l 可节约工艺气体的消耗量
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